キーエンス ILシリーズ レーザー変位センサー

参考価格: 約10万円〜（100万円未満）

キーエンス ILシリーズは、μmオーダーの超高精度測定が可能なレーザー変位センサーです。非接触で部品の厚み、段差、変位をリアルタイムに計測。自動車部品の寸法検査、電子部品のはんだ高さ測定、半導体ウエハーの平坦度測定などに使用されています。最大10kHzのサンプリングレートで、高速ラインのインライン検査にも対応します。